LED
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说明
时间限制：1 Sec
内存限制：256 MB
输入文件：led.in 输出文件：led.out
F 很闲，总是想出一些有趣的事情。今天他又想到了一个游戏。
我们准备了 $N$ 个编号为 $1 \sim N$ 的绿色 LED 灯，想要找出所有可能的操作顺序，把所有灯从绿色全部变成红色。
操作规则如下：
- 每个 LED 灯配有一个开关。
- 每按一次开关，灯的颜色变化为：绿色 → 黄色 → 红色。
- 已经变红的灯不能再进行任何操作。
请你帮 F 计算出合法的操作顺序总数，答案对 $1000000007$ 取模。
输入格式
输入一行一个整数 $N$。
输出格式
输出合法操作顺序的数量，对 $10^9+7$ 取模。
样例
样例 1
2
6
样例说明：
时共 种合法操作顺序
1. $1$变黄 → $2$变黄 → $1$变红 → $2$变红
2. $1$变黄 → $2$变黄 → $2$变红 → $1$变红
3. $2$变黄 → $1$变黄 → $1$变红 → $2$变红
4. $2$变黄 → $1$变黄 → $2$变红 → $1$变红
5. $1$变黄 → $1$变红 → $2$变黄 → $2$变红
6. $2$变黄 → $2$变红 → $1$变黄 → $1$变红
数据范围
对于 16% 的数据，$N \le 10$。
对于 48% 的数据，$N \le 1000$。
对于 56% 的数据，$N \le 10000$。
对于 100% 的数据，$1 \le N \le 10^7$。
